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為何晶圓廠里的女性禁止化妝:揭秘這背后隱藏的良率殺手

來源:芯智訊   編輯:非小米 時間:2024-10-25 13:30人閱讀

這段時間看到了太多的 Intel 的負面新聞,沒想到曾經(jīng)高不可攀的芯片巨頭竟然要裁員15000人。我頓時不由自主地想起了很多年前遇到的一位Intel 負責(zé)人,她是不是也被裁員了呢?

為什么對她的記憶如此深刻,因為我以前遇到的廠商擔(dān)當都是男性,而她卻是唯一的女性,而且她和普通日本職業(yè)女性不一樣,她從不化妝

女性為什么不化妝!也許有她自身的一部分原因。但在這個化妝“邪術(shù)”盛行的時代里,不化妝的女性確實引人側(cè)目。

為何晶圓廠里的女性禁止化妝:揭秘這背后隱藏的良率殺手

后來入職不久的我參加了培訓(xùn),才知道在半導(dǎo)體晶圓制造廠,有一條不成文的規(guī)定,即在 Fab 里工作的女性是不允許化妝的

為什么會有如此一條讓人緋聞所思默認的規(guī)矩?這就要從半導(dǎo)體廠里的晶圓的弱點說起。

晶圓是什么?晶圓一般是指制作硅半導(dǎo)體電路所用的硅晶片,尺寸一般有 6 英寸、8 英寸和 12 英寸。在前段工序中,晶圓可謂是十分的脆弱。

究竟有多脆弱?首先它怕灰塵,因為碎屑會導(dǎo)致晶圓上的電路短路、斷路或其他物理缺陷;它還怕過大的振動,因為會導(dǎo)致薄膜剝落、晶片破裂、 晶片特性也會變化;它還怕溫度濕度的變化,因為這會抑制天然氧化膜的成膜和蝕刻,導(dǎo)致壓力波動或者靜電產(chǎn)生;

此外,它還怕各種酸或者堿,因為這會導(dǎo)致異常成膜或成膜抑制、蝕刻抑制;最后還有一種,也就是本文要敘述的各種有機物和無機物,因為一些有機物和無機物會造成晶圓的異常成膜、成膜抑制、蝕刻抑制或者晶圓電路的污染。

那么,晶圓廠內(nèi)女性員工使用化妝品會影響晶圓的品質(zhì)嗎?答案是肯定的。

一個很偶然的機會,我參加過的一次半導(dǎo)體講座,在那次講座里講師舉了一個生動的例子。

日本東北有一家比較著名的半導(dǎo)體制造廠商。他們的 PE 發(fā)現(xiàn)他們的產(chǎn)品良率有一些問題。這個問題非常有趣,也有一定的特殊性,因為他們發(fā)現(xiàn)在某些日子里才會出現(xiàn)良率不高的情況。

后來經(jīng)過 PE 孜孜不倦地調(diào)查,他們最終發(fā)現(xiàn),只有在一位特定的女性參與生產(chǎn)的日子里,晶圓的良品率會變得不高。后來 PE 們默默地對這名特定女性進行詳細地調(diào)查,發(fā)現(xiàn)她和其余同事相比,沒有任何不當操作。這也讓他們百思不得其解。最終他們決定通過排除法來找問題。

首先,他們決定不讓這名女性參與生產(chǎn),結(jié)果發(fā)現(xiàn)該 LOT 的良率得到了明顯的提升。其中有一位 PE 甚至片面地誤以為是性別因素導(dǎo)致,后來遭到了這名女性對這名 PE 的性別歧視控訴。

隨后,一位心思慎密的 PE 做了一次“魚骨分析”法,排除了種種可能,最后把重點放在了該女性的妝容上。

他們決定讓這名女性在第二天素顏狀態(tài)進行生產(chǎn),良品率竟然得到了質(zhì)的改善。于是乎,他們經(jīng)過幾次測試,發(fā)現(xiàn)了造成良品率不高的罪魁禍首竟然是該女性員工使用的化妝品

為何晶圓廠里的女性禁止化妝:揭秘這背后隱藏的良率殺手

勤勞的 PE 們又對化妝品進行了嚴格細致的調(diào)查,發(fā)現(xiàn)是化妝品中有一種物質(zhì),叫硅氧烷,它在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中,會改變半導(dǎo)體的特性。至此之后在半導(dǎo)體制造工廠工作就有了“禁止化妝”這條不成文的規(guī)定。這個原本在半導(dǎo)體行業(yè)“默默無名”的化合物就上了半導(dǎo)體廠的黑名單。

硅氧烷,英文叫“Siloxane”,日文叫シロキサン。在化妝品這個行業(yè)中,加入硅氧烷材料的化妝品易于涂抹,在皮膚表面能形成保護膜,防止水分流失,使皮膚更絲滑柔軟,看起來吹彈可破。所以它廣泛運用在在保濕霜、粉底液、護發(fā)產(chǎn)品等產(chǎn)品中。這與它半導(dǎo)體行業(yè)的聲名狼藉完完全全相反。

那么硅氧烷到底對晶圓有什么危害呢?下面稍微分析一下:

首先,硅氧烷會影響晶圓表面質(zhì)量。硅氧烷的分子結(jié)構(gòu)中有機部分的揮發(fā)性較強,容易釋放出微小顆粒,這會形成顆粒污染。這些令半導(dǎo)體生厭的微小顆粒會頑固地附著在晶圓光滑的表面,給晶圓制造帶來不小的麻煩。

晶圓制造中的光刻工藝對晶圓表面清潔度有著極高要求。硅氧烷會在晶圓表面形成有機膜,導(dǎo)致光刻膠的附著力下降,這些有機物會阻擋光線或刻蝕物質(zhì),進而引起光刻圖形失真,出現(xiàn)缺陷甚至失敗。此外,硅氧烷殘留物會在曝光或顯影過程中與其發(fā)生化學(xué)品反應(yīng),形成難以去除的缺陷。這些都嚴重影響晶圓的制造的良率。

而且這些微小顆粒并不是我們想象中的圓潤的藥丸形狀,大部分硅氧烷顆粒都是不規(guī)則體,不僅有尖銳的棱角甚至還具有一定的硬度,它們會毫不客氣地給平整的晶圓表面帶來預(yù)想不到的劃痕。這些劃痕會讓晶圓在后續(xù)的工藝制造過程中更容易出現(xiàn)缺陷,進一步的影響到芯片的性能和可靠性。

其次是干擾化學(xué)和物理工藝。在 CVD 過程中,硅氧烷可能會與反應(yīng)氣體發(fā)生相互作用,干擾正常的化學(xué)反應(yīng)。譬如硅氧烷可能會吸附在反應(yīng)氣體分子上,阻止反應(yīng)氣體與晶圓表面充分接觸,從而影響薄膜的沉積速率和質(zhì)量。這將導(dǎo)致沉積的薄膜不均勻、厚度不符合要求,極大地影響芯片的性能。

硅氧烷還可阻礙刻蝕工藝。硅氧烷可能會在晶圓表面形成一層保護膜,阻止刻蝕劑對晶圓的腐蝕。導(dǎo)致刻蝕不均勻,無法形成所需的電路圖案,甚至形成刻蝕缺陷。而且硅氧烷自身也有可能與刻蝕劑發(fā)生反應(yīng),生成一些不需要的副產(chǎn)物,這些副產(chǎn)物也許會殘留在晶圓表面,影響后續(xù)的工藝制造。最終這些缺陷會直接影響到器件的性能和良率。

也許有的人說仔仔細細地清洗晶圓不就行了!其實硅氧烷還能影響清洗效果。

硅氧烷這令人生厭的東西竟然具有一定的疏水性,這種物理特性使它很難被超純水或其他清洗液徹底清洗掉。尤其是在高溫環(huán)境下,硅氧烷會分解并形成穩(wěn)定的有機殘留物。這些殘留物會粘附著在晶圓表面,造成不可逆轉(zhuǎn)的永久性損傷。而殘留的硅氧烷會繼續(xù)對晶圓的性能產(chǎn)生不良影響,繼而在后續(xù)的工藝過程中引發(fā)更多不可預(yù)料的連鎖反應(yīng)。

再次,硅氧烷會極大地影響晶圓的電學(xué)性能,這會產(chǎn)生漏電現(xiàn)象。若硅氧烷殘留在晶圓表面或直接滲透進晶圓內(nèi)部,有很大地可能性會改變此晶圓的電學(xué)特性,使晶圓或者半導(dǎo)體芯片最大的優(yōu)勢性能——絕緣性能下降。這會讓芯片在工作時出現(xiàn)漏電現(xiàn)象,導(dǎo)致設(shè)備故障,數(shù)據(jù)丟失。甚至還會讓設(shè)備產(chǎn)生安全隱患,引起設(shè)備過熱、起火甚至爆炸,對人員和環(huán)境造成危險。

硅氧烷還能直接影響到晶體管的性能。這其中涉及到晶體管的閾值電壓、載流子遷移率等參數(shù),使晶體管的開/關(guān)(on/off) 切換速度變慢、電流放大倍數(shù)降低等,從而影響到芯片的運算速度及處理能力。

那么在晶圓制作中我們?nèi)绾晤A(yù)防硅氧烷呢?

第一是控制空氣質(zhì)量,避免有機硅物質(zhì)通過空氣傳播。第二在制造過程中盡量減少或避免使用含硅氧烷的材料。第三采用專門設(shè)計的清洗流程,確保硅氧烷污染物能被徹底清除。

現(xiàn)在我們回到本文中的主題:盡量減少或避免使用含硅氧烷的材料。這其中的一個最大的因素就是員工需要素顏狀態(tài)進入半導(dǎo)體制造工廠,這也是本文所論述的為什么半導(dǎo)體制造工廠不允許女性化妝的原因。

那么除了化妝品以外,那么硅氧烷還存在什么產(chǎn)品中?

首先讓我們看一看硅樹脂的構(gòu)造:

為何晶圓廠里的女性禁止化妝:揭秘這背后隱藏的良率殺手

現(xiàn)在是不是有點明白了,只要你使用有機硅樹脂,就會散發(fā)出 outgas,產(chǎn)生意想不到的副產(chǎn)品硅氧烷。

那么有機硅樹脂有什么特點,應(yīng)用在什么方面呢?

有機硅樹脂的主鏈由無機骨架中的硅氧烷鍵(-Si-O-Si-)構(gòu)成,側(cè)鏈則帶有甲基和苯基等有機基團,因此被稱為兼具無機材料和有機材料特性的混合材料。硅樹脂具有耐熱性、耐寒性、耐候性、電性能、防水性和脫模性等多種優(yōu)良性能。

所以硅樹脂具有其他塑料材料所不具備的獨特特性,如消泡性、脫模性、憎水性、高壓縮性、高氣體滲透性、良好的耐寒性以及各種性能對溫度的依賴性小。

硅樹脂主要用途在耐熱密封材料,室外不易燃涂料,LED,脫模劑等應(yīng)用。

有沒有看到一個熟悉的名詞。對!就是 LED。半導(dǎo)體工廠有白光區(qū)和黃光區(qū)(有的甚至還有紅光區(qū))。無論是哪一種區(qū)域,都需要照明。而有機硅樹脂具有出色的耐熱性和耐光性性能,因此被大量應(yīng)用在 LED 的封裝,硅樹脂透鏡,散熱材料或反射板上。所以可以這么說,有 LED 照明的地方就有硅氧烷的存在。

為何晶圓廠里的女性禁止化妝:揭秘這背后隱藏的良率殺手

是不是大家有疑問,那么半導(dǎo)體工廠不是都處都有硅氧烷的存在嗎?

讓我們看看日本 LED 著名廠家 Pansonic ,里面有照明器具的介紹。請參考以下 URL:

https://www2.panasonic.biz/jp/catalog/lighting/products/detail/shouhin.php?at=led&id=S00101967

最下面有一行很不起眼的小字,【直管 LED ランプにはシリコンが使用されています。シロキサン化合物の影響を受けるような場所(例えば、半導(dǎo)體や液晶などの製品を扱うクリーンルーム)で使用する場合には、事前に確認してください。】

我們直接翻譯過來就是:“硅樹脂用于直管型 LED 燈。如果在可能受到硅氧烷化合物影響的場所(例如處理半導(dǎo)體、液晶等產(chǎn)品的無塵室)使用本產(chǎn)品,請事先確認。”

懂了沒,這算是有良心的廠家,給你很親切地用不起眼的小字旁敲側(cè)擊寫出來,LED 照明燈具對半導(dǎo)體潔凈生產(chǎn)車間有一些不良的影響。當然市面上大部分照明廠家,只要你不質(zhì)問,他是死也不說他的產(chǎn)品會散發(fā)出人神共憤的硅氧烷。這也是迄今為止很多半導(dǎo)體廠家的照明還采用老式的熒光燈照明的原因。其實并不是這些廠家不想換不想節(jié)電,而是有硅氧烷這個討厭的東西存在。

那么半導(dǎo)體工廠不能用 LED 照明了嗎?當然不是,很多照明廠家做出了不少的努力,比如提高照明器具的氣密性。在照明周邊和內(nèi)部的填料確保了設(shè)備腔體的氣密性。雖然腔體內(nèi)有少量的硅氧烷,但是通過密封填料保證這些討厭的副產(chǎn)物不會散發(fā)出來。

除了 LED,半導(dǎo)體廠還能有的什么設(shè)備可能散發(fā)出硅氧烷呢?當然有,而且很多。

比如說建筑材料用的密封膠,大部分產(chǎn)品都含有硅氧烷。正因如此,用于潔凈室建筑物或者潔凈室各項設(shè)備中的密封膠也有相當嚴格的規(guī)定。

比如日本信越的一款密封膠,叫做 Shin-Etsu Pure Sealant,產(chǎn)品里明確有介紹道此產(chǎn)品能最大限度地減少低分子量硅氧烷的揮發(fā),還能顯著減少有機化合物的揮發(fā)。此公司強烈推薦用戶使用他們的產(chǎn)品。

還有一個廠家,叫做日本東麗(TORAY)。他們有一款 CORNINGSE9185 的密封膠,主要成分是單組分室溫固化硅酮粘合劑,是一款還原型低分子量硅氧烷產(chǎn)品。還有一款CORNINGSE5088,主要成分是單組分醇基潔凈室硅酮密封膠。產(chǎn)品 sds 有說明此產(chǎn)品含有的低分子硅氧烷在 24ppm 以下。因此該公司也強烈推薦此密封膠用于潔凈室。

為何晶圓廠里的女性禁止化妝:揭秘這背后隱藏的良率殺手

那有沒有完全不含有硅氧烷的密封膠?當然有!瑞士西卡有一款產(chǎn)品叫做 Sikaflex SCR,成分為單組分聚氨酯彈性粘合劑和密封劑,產(chǎn)品介紹中說此產(chǎn)品完全不含硅氧烷。不過此產(chǎn)品還是或多或少會產(chǎn)生一點 outgas。這些極少量的分子(到底是什么,介紹中沒有說明)會附著在硅晶片和 LCD 基底。

至于這些密封膠產(chǎn)品孰強孰劣,那么就要看客戶的使用效果反饋了。

寫到這里似乎已經(jīng)偏題十萬八千里了,在沉思中的我,也被部下突而其來的招呼聲拉進了現(xiàn)實之中。

“課長,向你介紹一下,這是今年的新人!”

“哦,幸會幸會,歡迎你來到開發(fā)組。”

“請多多關(guān)照!” 一名化著大濃妝的女性社員對我露出了職業(yè)性的微笑,開始向我詳細自我介紹起來。

此處省去一萬字的對話內(nèi)容,由于我對香水有點過敏,不得不強烈忍住了打噴嚏的沖動,我下意識地只想把這位新人丟到客戶現(xiàn)場去,美其名曰學(xué)習(xí)經(jīng)驗。其實我是想她退去濃妝,讓這位新人領(lǐng)會到“洗盡鉛華,珠璣不御”的含義。

……

日復(fù)一日,每日下班時,依然是皓月當空。我不由自主地想起已經(jīng)度過數(shù)十年的她,不知道在俄亥俄州的她怎么樣了。雖然現(xiàn)在你與我已經(jīng)都不再年輕。但是不知道怎么地,我還是情不自禁地想起夏目漱石說的一句話:“森 san”,十幾年前與你一起在工廠加班到深夜,其實想說除了你辛苦了以外,還有一句,那一夜的月色是如此的美麗。

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標簽: 晶圓 晶圓廠

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